高精度なインラインウェーハ厚さ検査向け白色光干渉計
IMS5420は、単結晶シリコンウェーハの非接触式厚さ測定に対応した高性能な白色光干渉計です。コントローラには波長範囲が1,100 nmのスーパールミネッセントダイオード（SLED）が搭載されており、たった1つの測定システムと1 nm未満の信号安定性をもとに、非ドープ、ドープ、高ドープのシリコンウェーハの厚さを測定することができます。IMS5420は用途に応じて、オフセット距離の大きいセンサとフリーブロー装置付きセンサをご用意しています。
精密なウェーハ厚さ測定
波長範囲1,100 nmのシリコンウェーハの光学的透明性により、IMS5420干渉計は厚さを精密に検出することができます。この波長範囲では、未ドープシリコンもドープウェーハも十分な透明性があります。そのため、1.05 mmまでのウェーハの厚さを検出できます。エアギャップの測定可能な厚さは、最大4 mmにもなります。
IMS5420 干渉計は非ドープ、ドープ、高ドープのシリコンウェーハの厚さ測定が行えるので、幅広い用途に使用できます。このウェーハ厚測定システムは、幾何学的厚さが500～1050 µm、ドープ量が6 m Ω cmまでの単結晶シリコンウェーハの測定に最適です。一般に、ドープ量の上昇に伴に伴い透明度は低下しますが、IMS5420 干渉計は高ドープのウェーハであっても0.8 mmの厚さまで測定することができます。
ラッピング中での精確な厚さ測定
ウェーハ製造では、まず結晶シリコンインゴットを約1 mmの薄いスライスに切断し、続く研削・ラッピング工程でウェーハを
要求される最終厚さに調整することで、高い表面品質を実現します。ラッピング・研削機械に直接組み込めるinterferoMETERはインラインで厚さ測定を実施し、再現性のある安定したプロセス管理を可能にしています。検出した厚さ値は、機械の制御と各ウェーハの品質保証の両方に役立てることができます。
コンパクトセンサ IMP-NIR-TH24
直径がわずか10 mmとスリムでありながら、作動距離は24 mmと長いIMP NIR TH24は、既存の設備への後付けに最適です。調整可能な取り付けアダプター（JMA）と組み合わせれば、わずかな取り付けのずれや傾斜も確実に補正でき、統合が大幅に容易になります。ご要望に応じて、センサと光ファイバーの両方をUHV仕様でご提供しています。
NEW：堅牢なセンサ IMP-NIR-TH3/90/IP68
特に厳しい設置状況や過酷な環境条件に対応する高性能センサとして、新たにIMP-NIR-TH3/90/IP68がセンサのラインナップに加わりました。IMP-NIR-TH3/90/IP68は90°のビーム経路とわずか3 mmの短い作動距離が特徴で、非常に狭い設置環境に最適です。堅牢なハウジング（IP68）により、スラリー研削などの特に難しい用途にも使用できます。ブロー装置が内蔵のなので、ビームパスの汚れを常に除去し、汚染の激しい環境でも測定精度を永続的に維持します。
要求の厳しい測定タスクに対応する多様なモデル
| モデル | 作業距離 / 測定範囲 | 直線性 | 測定可能な層数 | 用途 |
|---|---|---|---|---|
| IMS5420-TH | 作業距離 IMP-NIR-TH24 約 24 mm（21～27mm）| IMP-NIR-TH3/90/IP68 約 3mm（1～6mm）/ 0.05～1.05 mmシリコンの場合 / n=3.82）、0.2～4 mm（エアの場合、n=1） |
< ±100 nm | 1層 | 研削または研磨後のインライン厚さ測定 |
| IMS5420MP | 1層の場合 < ±100 nm 複数層の場合：< ±200 nm |
最大5層 | インライン厚さ測定（例：コーティング後の層厚の品質管理） | |
| IMS5420/IP67 | 作業距離 IMP-NIR-TH24 約24 mm（21～27mm）/ 0.05～1.05 mm（シリコンの場合 / n=3.82）、0.2～4 mm（エアの場合、n=1） |
< ±100 nm | 1層 | ラッピング・研削工程での産業向けインライン厚さ測定 |
| IMS5420/IP67MP-TH | 1層の場合 < ±100 nm 複数層の場合：< ±200 nm |
最大5層 | ラッピング・研削工程での産業向けインライン厚さ・多層測定 |
機械およびシステムに統合するための最先端インターフェース
コントローラには、Ethernet、EtherCAT、RS422といった統合インターフェースおよび追加のエンコーダ接続部、アナログ出力、同期入力、デジタルI/Oが搭載されています。マイクロエプシロン社のインターフェースモジュールによって、PROFINETと EthernetIPを利用することができます。そのため、干渉計をすべての制御システムと生産プログラムに組み込むことができます。
