新しい白色光干渉計 IMS5600-DSは、最高精度で距離測定を行うために使用されます。コントローラにはインテリジェントな評価による特殊調整機能が搭載されており、サブナノメートルの分解能で絶対測定を行うことができます。この干渉計は、電子機器や半導体の生産といった最高の精度要件が求められる測定タスクに使用します。
新しいcapaNCDT 6228静電容量式センサシステムは、周囲温度+800 °Cまでの測定タスク用に設計されています。この高性能コントローラにはCSE/HTシリーズのセンサを最大4つまで同時に接続でき、内蔵の高温センサケーブルが電界や磁界による干渉を補正します。測定データはEthernetやEtherCATといった最新のインターフェースを介してアナログとデジタルの両方で出力されます。
