サブナノメートル分解能の絶対距離測定のための白色光干渉計
新しい白色光干渉計 IMS5600-DSは、最高精度で距離測定を行うために使用されます。コントローラにはインテリジェントな評価による特殊調整機能が搭載されており、サブナノメートルの分解能で絶対測定を行うことができます。この干渉計は、電子機器や半導体の生産といった最高の精度要件が求められる測定タスクに使用します。
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マルチピーク距離測定
透明な物体に対するマルチピーク距離測定では、最大14の距離値を同時に評価することができるので、例えばガラスとキャリアプレートの距離などの測定が行えます。さらにこのコントローラは、距離の値からガラスの厚さを計算することも可能です。
要求の厳しい測定タスクに対応する多様なモデル
モデル | 測定範囲 / 測定範囲の開始点 |
直線性 |
測定可能な層の数 |
応用分野 |
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IMS5600-DS19 | 2.1 mm / 約19 mm | ±10 nm | - |
産業プロセスでの高精度距離測定(例:精密製造業など) |
IMS5600-DS19/VAC |
クリーンルーム環境や真空下での精密な位置決め作業や距離測定(例:ディスプレイ製造におけるマスクの位置決めなど |
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IMS5600MP-DS19 | 距離測定: 2.1 mm / 約19 mm 厚さ測定: 0.01~1.3 mm (BK7、n=1.5の場合) / 約19 mm |
最初の距離±10 nm さらに距離をとるごとに±100 nm |
最大13層 |
プロセスにおける高精度な距離・厚さ測定(例:半導体製造でのウェーハ上の層厚測定やLED製造など) |
IMS5600MP-DS19/VAC | クリーンルーム環境・真空下での高精度距離・厚さ測定 (例:半導体製造でのマスクやウェーハの位置・ギャップ測定時など |
Interface and signal processing units
機械やシステムに統合するための最先端インターフェース
コントローラにはEthernet、EtherCAT、RS422といった統合インターフェースおよび追加のエンコーダ接続部、アナログ出力、同期入力、デジタルI/Oが搭載されています。マイクロエプシロンのインターフェースモジュールを使用すればPROFINETとEthernetIPも利用可能なので、この干渉計はあらゆる制御システムや生産プログラムに組み込むことができます。
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