共焦点クロマティックセンサは、ウェーハの厚さや厚さの偏差(Total Thickness Variation)を測定します。ウェーハの厚さプロファイルをもとにウェーハのたわみや歪みも検知でき、測定レートが高いので短いタクトタイムで全ウェーハの厚さ測定を行うことができます。